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加熱・冷却ステージ

SEM用 / XRM(μX線CT)用

   走査型電子顕微鏡(SEM用)        X線顕微鏡(X線CT用)               

走査型電子顕微鏡(SEM用)

CoolStage(冷却ステージ)は、低真空用のSEM(走査型電子顕微鏡)の為に作られた、試料を冷却(加熱)するための、温度制御可能な、ステージです。ほとんど全てのメーカーのSEM(走査型電子顕微鏡)ステージにとりつけることができます。

冷却ステージ部は、ペルチェ素子と温度センサーと、熱的に絶縁された試料台、冷却水循環ポンプ、電源ユニットとコントローラーキーパッドで構成されています。

電子顕微鏡メーカーのモデルにより、スペシメンホルダーの形状は異なります。 取付には、空きポート一か所が必要です。
  • 標準 CoolStage -25~50℃
  • Ultra CoolStage -50~50℃*
  • 加熱 HeatingStage -25~160℃
  • 温度精度 +/- 1.5℃
  • 温度表示分解能 0.1℃
  • 温度安定性 +/- 0.2℃

*-50度は、理想状態で達成します。

X線顕微鏡 XRM(X線CT用)

μXCTトモグラフィー用のペルチェ式の加熱・冷却ステージは、観察試料を凍結させることができます。二層のポリスチレンまたはカーボン(オプション)で囲われ、-20度でも試料が結露して凍らないようにしています。いろいろな高さの試料ホルダーは、X線イメージ画像の観察に最適な位置に調整できます。冷却システムは循環式のチラーを内蔵しているので、冷却水は不要です。

  • 温度範囲は、-20~+160℃です。温度精度は、+/-1.5℃または2%
  • 温度表示は0.1℃。 安定性は+/-0.2℃
  • ペルチェ素子は8mmφの径のホルダーで二段のカバーで凍結を防止します。
  • 試料ホルダーの高さは、異なる長さのものも付けられます。
  • 最大冷却/加熱レートは20℃/分
  • 冷却チラー内蔵式
  • キーパッド付きディスプレイで、設定温度と実際の温度が分かります
  • 動作電圧 115V / 230V
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