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卓上SEM(走査型電子顕微鏡)アクセサリ

 

 

   
 日立社製 TM3000&3030  日立社製 TM1000 JEOL社製 NeoScope

 

【チルト&回転ステージ】

     

既設のXYテーブルに、チルトと回転ステージがマウントします。 

試料の衝突を避けるために赤外線カメラが標準で搭載されています。

外部モニター映像により試料位置とレンズ位置を目視確認できます。カメラはステージと独立して使用可能です。   

 

  

 

 

 仕様

●回転レンジ:連続

●チルト: -15~60度

●制御:手動

●モニター:5.6インチTFT

 

【引張ステージ】

 

     
 チャンバー内部で引張・圧縮試験ができます。荷重(ロードセル)は、2N200Nの範囲で選択できます。

試料を水平に置き、両端をチャックで挟みます。チャック部両端が同時に移動するので、中央の観察点の位置ずれは少なくなります。

仕様

DEBEN社製のアクセサリ用のドアーステージを始めに取り付けます。

●既設のXYステージ上にマウントします
引張モード/圧縮モード
200N(ロードセル)
●引張スピード(0.1/min 1.5/min )
●移動距離 1020㎜ または2535㎜(チャック反転)
●精度は最大荷重の +/1

●冷却・加熱ステージ、34点曲げジグ (オプション)

 

 

  

  

 

【冷却ステージ】

 

     

  含水試料を観察する時に真空による試料変形を最小限に抑えるために試料をマイナス温度の冷却します

標準モデルでは、-25℃まで冷却します

 

仕様

DEBEN社製のアクセサリ用のドアーステージを始めに取り付けます


●既設のXYステージにマントします
●温度レンジは、-25℃~+50℃ (50Pa) SEMからの冷却水は不要 
●室温20℃で、高真空下では -35℃到達
●温度精度 +/-1.5
●温度表示は0.1℃刻み
●最大冷却速度は、12/
●コントロールキーパッドで、設定温度と実温度表示
●マイナス50℃~+50℃(オプション) (50Pa)
 

 


 

 

 

 

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