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SEM用IRカメラ

新型・旧型いずれのSEMに取り付け可能なSEM用カメラです。チャンバの真空を保ちながらチャンバ内部を観察することが出来ます。またレンズを交換したり焦点を変更することが出来ます。カメラとIR(赤外イルミネーション)は、チャンバーのフランジにコーティングしたガラス窓の背面に取り付けることで、真空を保っています。 オプションで、ワイドレンズとズームレンズが付けられます。システムは、5.6インチTFTモニターか、USBインターフェースの何れか選択となります。5.6インチTFTモニターの場合は、コントローラー正面のツマミで明るさ調整ができます。USBタイプの場合、2ポートまで対応できるので、別なカメラ画像を取り込むこともできます。

また、SEMのパソコンに表示させることができます。明るさ調整は、USBポートで行い、画像はPCIまたはPCIeカードで取り込みます。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 オプションのレンズ(6mmと12mm)

PDF(SEM用IRカメラ)

  • ワイド画像とズーム画像の2個のレンズを装備。
  • IR(赤外線)エミッターを光源とし、強度を調整できます。
  • カメラフランジは、電気的なシールと、真空を維持し、X線(40Kev)に対しても安全です。
  • 5.6インチTFTモデルまたはUSBモデル
  • 1/3インチCCD420ライン、890nm 波長の赤外線
  • 標準レンズ8㎜
  • 明るさ調節ボリュームつき(TFTモデル)
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