SEMステージコントローラ
用途
ジョイスティックで制御するステージコントローラーは、どのメーカーの電子顕微鏡にも対応しています。
2軸から5軸まで、1μｍの精度で動作します。
ステージの手動制御は、保存・呼出しが、最大1000ポイント可能です。複雑な連続・スキャンパターン機能は、RS232インターフースを通し、大きなサンプルエリアを、規則正しく観察することができます。
特徴
- 解像度50,000ステップ/回転というマイクロステップ。
- 手動でも動かせます。
- 光学式のエンコーダーで位置を監視
- リミット設定できます。
- スキャン・連続移動ができます。
- ジョイスティックコントローラ
仕様
- 99組の座標と保存と呼び出し。
- 10nm～2.5mm/秒のスピードで移動
- RS232インターフェース
- 2軸～5軸対応
