SEM・X線CT用冷却ステージ｜製品紹介｜膜厚計・分析計・顕微鏡アクセサリの株式会社フレックス・サービス

標準CoolStageのヘッド

UltraCoolStageのヘッド

用　途

CoolStage（冷却ステージ）は、低真空用のSEM（走査型電子顕微鏡）の為に作られた、試料を冷却（加熱）するための、温度制御可能な、ステージです。　
ほとんど全てのメーカーのSEM（走査型電子顕微鏡）ステージにとりつけることができます。
冷却ステージ部は、ペルチェ素子と温度センサーと、熱的に絶縁された試料台、冷却水循環ポンプ、電源ユニットとコントローラーキーパッドで構成されています。

• 加熱・冷却ステージ カタログダウンロード (55KB)

特徴

• 試料ステージは、小型の冷却ユニットからの循環水で冷却されます。
• 実測温度と、設定温度を同時に表示
• Rs232インターフェースによるリモートコントロール

仕様

• 標準 CoolStage　-25～50℃
  
• Ultra CoolStage　-50～50℃*
• 加熱 HeatingStage　-25～160℃
• 温度精度　+/-　1.5℃
• 温度表示分解能　0.1℃
• 温度安定性　+/-　0.2℃

*-50度は、理想状態で達成します。