蛍光X線膜厚計 CMI 900
900S スタンダード
900M ミニチャンバ
特徴
CMI 900は、半導体材料、電子部品、自動車部品等のメッキ、CVD（蒸着）、PVD（スパッタ）などの表面処理皮膜の膜厚みと成分比を短時間で測定します。
X線をコリメーターを通して任意のサイズに絞込み、試料に照射すると、試料の素材ごとの固有X線（蛍光X線）が発生します。
あらかじめ厚さ既知の試料（標準板）を用いて、蛍光X線強度と厚みの関係式（検量線）をパソコンに記憶させておき、厚み未知試料の蛍光X線強度と検量線から、厚みを算出する測定器です。
操作画面例
仕様
| 測定元素 | 原子番号22（Ti）～83（Bi） |
|---|---|
| X線管 | タングステンターゲット 管電圧50Kv 管電流1.0mA |
| 検出器 | 比例計数管（密封型Xeガス） |
| コリメーター | 1個または最大5個 |
| フィルター | 1次（AI） 2次（Co）他オプションあり |
| 試料画像 | カラーCCD（ズーム x1～x2） マルチライト（4方向）各3段階調整機能付 |
| 焦点合わせ | 赤色レーザーによる半自動式 |
| 検量線 | FP法、ROI法およびバルクFP法 |
| 統計機能 | 統計値 （測定数・平均値・標準偏差・変動係数・最大値・最小値・CPK・レンジ） |
| レポート機能 | 簡易レポート作成ソフトSmart Doc |
| 測定可能な皮膜 | 単層被膜 ： ニッケルメッキ、亜鉛メッキ、銅メッキ、クロムメッキ、金メッキ、 銀メッキ、錫合金メッキ、パラジウムメッキ、等々 二元合金被膜：SnBiメッキ、ZnNiメッキ、NiP（無電解ニッケル）メッキ、等 複層被膜：Cu下地のAu/Niメッキ、Sn/Niメッキ、鉄下地のCr/Niメッキ、 プラスチック下地のCr/Niメッキ 等 めっき液中の金属イオン濃度 |
