蛍光X線 膜厚計　X-strata ９６０ シリーズ


100w蛍光X線 膜厚計

 

仕　様

  • X線：100 W (50kV and 2mA)
    　　　タングステンターゲット
  • 検出器：Xe 比例計数管　１次フィルター
    　　　　２次フィルター
  • 電源：85～130 volts, 47Hz to 63Hz
  • XYZ 軸：XY プログラマブル: 30 x 20 x23cm
    　　テーブルサイズ 68 x 53cm
    　　手動: 25 x 25 x 23 cm ,
    　　テーブルサイズ 68 x 53 cm
  • 内部寸法：H 23 W 58 D51cm
  • 外寸法：H 74 W 68 D81cm

特　徴

  • 高出力100WX線管球　（水冷循環式）
    X線の強度が従来の２倍なので
    発生する蛍光X線の強度も２倍。
    １００Wの測定結果のバラつき（変動係数）は　５０Wに比べ、１/√２（約７０％）になります。

    電子部品の小型化、高密度化が進むに従い膜厚測定する部分の面積が、どんどん小さくなって　微細化しています。
    サンプルに照射できる一次X線量が減ると、得られる信号（蛍光X線）が少なくなり、測定結果がバラついてしまいます。
    １００W高出力のX-strata９６０は、それを克服します。
  • 大型サンプルも測定可能な大型チャンバー

用　途

  • 各種メッキ膜厚と成分比
  • 蒸着・スパッタ膜一般
  • 鉛フリーはんだメッキ
  • メッキ液分析

ico測定できる皮膜

 

 

X-strata 960 カタログ ダウンロード (452KB)